メタルダイアフラムを種類別・用途別に分類しますと次のようになります。

ダイアフラム種類 用途別の分類 機 能 使用例
リニア動作用 圧力センサー 圧力→変位変換
受圧媒体の隔膜
荷重→変位変換
圧力センサー用(比例)
半導体圧力センサー用
ストレーンゲージ用
気密保持 素子等の外部遮蔽 素子(ピエゾ・感熱)用
特定位置変位増幅用 圧力センサー 圧力→変位変換 圧力センサー用(特定位置増幅)
軸シール 気密シール 小型バルブ用
スナップ動作用 圧力センサー 圧力→変位変換 圧力センサー用(応差圧)
軸シール 気密シール 小型バルブ用


※メタルダイアフラムは基本的に圧力検出素子(圧力を変位量や力に変換)や隔膜(圧力媒体または真空を逃がさない隔壁)として利用され、これを単一、または複数枚用いて接合(溶接・半田付・接着剤など)あるいはパッキンシールして使用します。

■圧力検出素子:正圧または負圧を変位量に変換させて使用します。

■隔膜:軸方向駆動部分のガスや液体を遮断するシール機構部品としてや、収縮性が少ない液体等の媒体を封入して外部からの圧力を間接的に伝える場合に利用されます。その使用条件とダイアフラムの各種形状によって、組立方法をご検討ください。特にダイアフラムの板厚が薄い場合は、組立施工方法によっては歪みが発生し、正常に動作しなくなる場合もありますので、弊社までお問い合わせください。